Lithography Machine Mask Aligner ຮູບພາບ - Etching Machine
ການແນະນໍາຜະລິດຕະພັນ
ແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ exposure ຮັບນໍາເຂົ້າ UV LED ແລະໂມດູນຮູບຮ່າງຂອງແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ, ມີຄວາມຮ້ອນຂະຫນາດນ້ອຍແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງທີ່ດີ.
ໂຄງປະກອບການເຮັດໃຫ້ມີແສງ inverted ມີຜົນກະທົບການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີແລະຜົນກະທົບໃກ້ຊິດຂອງແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ, ແລະການທົດແທນ lamp mercury ແມ່ນງ່າຍດາຍແລະສະດວກ. ມາພ້ອມກັບກ້ອງຈຸລະທັດສອງພາກສະຫນາມທີ່ມີກໍາລັງຂະຫຍາຍສູງແລະກ້ອງຈໍ LCD ກວ້າງ 21 ນິ້ວ, ມັນສາມາດເບິ່ງເຫັນໄດ້ຕະຫຼອດ.
eyepiece ຫຼື CCD + ຈໍສະແດງຜົນ, ມີຄວາມຖືກຕ້ອງສອດຄ່ອງສູງ, ຂະບວນການ intuitive ແລະການດໍາເນີນງານສະດວກ.
ຄຸນສົມບັດ
ມີຟັງຊັນການປຸງແຕ່ງຊິ້ນ
ລະດັບຄວາມກົດດັນຂອງການພົວພັນຮັບປະກັນການເຮັດຊ້ໍາຄືນຜ່ານເຊັນເຊີ
ຊ່ອງຫວ່າງການຈັດຕໍາແຫນ່ງແລະຊ່ອງຫວ່າງ exposure ສາມາດຖືກກໍານົດເປັນດິຈິຕອນ
ການນໍາໃຊ້ຄອມພິວເຕີຝັງ + ການດໍາເນີນງານຫນ້າຈໍສໍາຜັດ, ງ່າຍດາຍແລະສະດວກ, ງາມແລະໃຈກວ້າງ
ດຶງປະເພດຂຶ້ນແລະລົງແຜ່ນ, ງ່າຍດາຍແລະສະດວກ
ສະຫນັບສະຫນູນການສໍາຜັດສູນຍາກາດ, exposure ການຕິດຕໍ່ຍາກ, exposure ຄວາມກົດດັນແລະ exposure ໃກ້ຊິດ
ມີຟັງຊັນການໂຕ້ຕອບ nano imprint
ການເປີດເຜີຍຊັ້ນດຽວດ້ວຍປຸ່ມຫນຶ່ງ, ລະດັບອັດຕະໂນມັດສູງ
ເຄື່ອງນີ້ມີຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືທີ່ດີແລະການສາທິດທີ່ສະດວກ, ໂດຍສະເພາະທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການສອນ, ການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດແລະໂຮງງານຜະລິດຢູ່ໃນວິທະຍາໄລແລະມະຫາວິທະຍາໄລ.
ລາຍລະອຽດເພີ່ມເຕີມ
ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ
1. ພື້ນທີ່ຮັບແສງ: 110mm × 110mm;
2. ★ຄວາມຍາວຂອງແສງ exposure: 365nm;
3. ຄວາມລະອຽດ: ≤ 1m;
4. ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດວາງ: 0.8m;
5.The ລະດັບການເຄື່ອນໄຫວຂອງຕາຕະລາງສະແກນຂອງລະບົບການຈັດຕໍາແຫນ່ງຢ່າງຫນ້ອຍຈະຕອບສະຫນອງ: Y: 10mm;
6. ທໍ່ແສງສະຫວ່າງຊ້າຍແລະຂວາຂອງລະບົບການຈັດຕໍາແຫນ່ງສາມາດເຄື່ອນຍ້າຍແຍກຕ່າງຫາກໃນທິດທາງ X, y ແລະ Z, ທິດທາງ X: ± 5mm, ທິດທາງ Y: ± 5mm ແລະທິດທາງ Z: ± 5mm;
7. ຂະຫນາດຫນ້າກາກ: 2.5 ນິ້ວ, 3 ນິ້ວ, 4 ນິ້ວ, 5 ນິ້ວ;
8. ຂະຫນາດຕົວຢ່າງ: fragment, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ເຫມາະສົມກັບຄວາມຫນາຂອງຕົວຢ່າງ: 0.5-6mm, ແລະສາມາດສະຫນັບສະຫນູນຕ່ອນຕົວຢ່າງ 20mm ຫຼາຍທີ່ສຸດ (ປັບແຕ່ງ);
10. ຮູບແບບການເປີດເຜີຍ: ເວລາ (ຮູບແບບການນັບຖອຍຫຼັງ);
11. ບໍ່ເປັນເອກະພາບຂອງແສງ: ＜ 2.5%;
12. Dual field CCD alignment microscope: ເລນຊູມ (1-5 ເທື່ອ) + ກ້ອງຈຸລະທັດຈຸດປະສົງ;
13. ເສັ້ນເລືອດຕັນໃນການເຄື່ອນໄຫວຂອງຫນ້າກາກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບຕົວຢ່າງຢ່າງຫນ້ອຍຕ້ອງຕອບສະຫນອງ: X: 5mm; Y: 5mm; : 6º;
14. ★ ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງພະລັງງານ exposure: > 30MW / cm2,
15. ★ຕໍາແຫນ່ງການຈັດຕໍາແຫນ່ງແລະ exposure ຕໍາແຫນ່ງເຮັດວຽກຢູ່ໃນສອງສະຖານີ, ແລະສອງສະຖານີ servo motor switches ອັດຕະໂນມັດ;
16. ລະດັບຄວາມກົດດັນການຕິດຕໍ່ຮັບປະກັນການຊ້ໍາກັນໂດຍຜ່ານເຊັນເຊີ;
17. ★ຊ່ອງຫວ່າງການຈັດຕໍາແຫນ່ງແລະຊ່ອງຫວ່າງ exposure ສາມາດຖືກກໍານົດເປັນດິຈິຕອນ;
18. ★ມັນມີການໂຕ້ຕອບ nano imprint ແລະຕິດຕໍ່ພົວພັນ;
19. ★ການດໍາເນີນງານຫນ້າຈໍສໍາພັດ;
20. ຂະຫນາດໂດຍລວມ: ປະມານ 1400mm (ຄວາມຍາວ) 900mm (width) 1500mm (ຄວາມສູງ).
