ເຄື່ອງພິມດ້ວຍຫີນ ເຄື່ອງຈັດໜ້າກາກ ເຄື່ອງແກະສະຫຼັກຮູບພາບ

ລາຍລະອຽດ

1. ພື້ນທີ່ຮັບແສງ: 110 ມມ × 110 ມມ;
2. ★ ຄວາມຍາວຄື້ນແສງ: 365nm;
3. ຄວາມລະອຽດ: ≤ 1m;
4. ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດລຽນ: 0.8 ແມັດ;
5. ຂອບເຂດການເຄື່ອນໄຫວຂອງຕາຕະລາງການສະແກນຂອງລະບົບການຈັດລຽນຢ່າງໜ້ອຍຕ້ອງຕອບສະໜອງ: Y: 10 ມມ;
6. ຫຼອດໄຟຊ້າຍ ແລະ ຂວາຂອງລະບົບການຈັດລຽນສາມາດເຄື່ອນຍ້າຍແຍກຕ່າງຫາກໃນທິດທາງ X, y ແລະ Z, ທິດທາງ X: ± 5 ມມ, ທິດທາງ Y: ± 5 ມມ ແລະ ທິດທາງ Z: ± 5 ມມ;
7. ຂະໜາດໜ້າກາກ: 2.5 ນິ້ວ, 3 ນິ້ວ, 4 ນິ້ວ, 5 ນິ້ວ;
8. ຂະໜາດຕົວຢ່າງ: ຊິ້ນສ່ວນ, 2", 3", 4";
9. ★ ເໝາະສົມກັບຄວາມໜາຂອງຕົວຢ່າງ: 0.5-6 ມມ, ແລະສາມາດຮອງຮັບຊິ້ນສ່ວນຕົວຢ່າງໄດ້ສູງສຸດ 20 ມມ (ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້);
10. ໂໝດການຮັບແສງ: ໄລຍະເວລາ (ໂໝດນັບຖອຍຫຼັງ);
11. ຄວາມບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີຂອງແສງສະຫວ່າງ: <2.5%;
12. ກ້ອງຈຸລະທັດ CCD ສອງພາກສະໜາມ: ເລນຊູມ (1-5 ເທົ່າ) + ເລນກ້ອງຈຸລະທັດ;
13. ໄລຍະການເຄື່ອນໄຫວຂອງໜ້າກາກທຽບກັບຕົວຢ່າງຢ່າງໜ້ອຍຕ້ອງຕອບສະໜອງ: X: 5 ມມ; Y: 5 ມມ; : 6º;
14. ★ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານການສຳຜັດ: > 30MW / cm2,
15. ★ ຕຳແໜ່ງການຈັດລຽນ ແລະ ຕຳແໜ່ງການຮັບແສງເຮັດວຽກຢູ່ໃນສອງສະຖານີ, ແລະ ມໍເຕີ servo ສອງສະຖານີຈະສະຫຼັບໂດຍອັດຕະໂນມັດ;
16. ການຄວບຄຸມຄວາມດັນຕິດຕໍ່ໃຫ້ຢູ່ໃນລະດັບທີ່ເໝາະສົມຮັບປະກັນຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳໄດ້ຜ່ານເຊັນເຊີ;
17. ★ ຊ່ອງຫວ່າງການຈັດລຽນ ແລະ ຊ່ອງຫວ່າງການຮັບແສງສາມາດຕັ້ງຄ່າໄດ້ດ້ວຍຮູບແບບດິຈິຕອລ;
18. ★ ມັນມີອິນເຕີເຟດ nano imprint ແລະອິນເຕີເຟດ proximity;
19. ★ ການດໍາເນີນງານໜ້າຈໍສໍາພັດ;
20. ຂະໜາດໂດຍລວມ: ປະມານ 1400 ມມ (ຍາວ) 900 ມມ (ກວ້າງ) 1500 ມມ (ສູງ).